ผงซิลิคอนคาร์ไบด์สีเขียวเบอร์ 1200 สำหรับตัดแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอน
ผงซิลิคอนคาร์ไบด์สีเขียวเบอร์ 1200 สำหรับตัดแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอน เป็นแร่สังเคราะห์ที่มีความแข็งสูงมาก (ค่าความแข็ง Knoop 2600 หรือ Mohs 9.4) มีค่าการนำความร้อนสูง (100 วัตต์/เมตร-เคลวิน) และมีความแข็งแรงสูงที่อุณหภูมิสูง (ที่ 1000°C ซิลิคอนคาร์ไบด์สีเขียวมีความแข็งแรงกว่าอะลูมิเนียมออกไซด์ถึง 7.5 เท่า) มีค่าโมดูลัสความยืดหยุ่น 410 GPa ความแข็งแรงไม่ลดลงจนถึง 1600°C และไม่หลอมเหลวที่ความดันปกติ แต่จะสลายตัวที่ 2815.5°C
คุณสมบัติทางกายภาพ
| น้ำหนักจำเพาะ | 3.95 กรัม/ ซม³ |
| ความแข็งโมห์ส | 9.5 |
| อุณหภูมิใช้งานสูงสุด | 1900℃ |
| จุดหลอมเหลว | 2250℃ |
การวิเคราะห์ทางเคมีโดยทั่วไป [%]
| ซีซี | เฟ2โอ3 | เอฟซี | เอฟ.ซี | ซิโอ2 | กฎ |
| 98.0-99.5 | ≤0.15 | ≤0.30 | ≤0.40 | ≤0.70 | < 0.09 |
การกระจายขนาดอนุภาค
บทที่ Ⅰ (มาตรฐาน JIS)
| ขนาด | ดโอ (หนึ่ง) | ดี3 (ม.) | D 50 (หนึ่ง) | ดี94 (ม.) |
| #240 | ≤127 | ≤103 | 57.0±3.0 | ≥40 |
| #280 | ≤112 | ≤87 | 48.0±3.0 | ≥33 |
| #320 | ≤98 | ≤74 | 40.0±2.5 | ≥27 |
| #360 | ≤86 | ≤66 | 35.0±2.0 | ≥23 |
| #400 | ≤75 | ≤58 | 30.0±2.0 | ≥20 |
| #500 | ≤63 | ≤50 | 25.0±2.0 | ≥16 |
| #600 | ≤53 | ≤41 | 20.0±1.5 | ≥13 |
| #700 | ≤45 | ≤37 | 17.0±1.5 | ≥11 |
| #800 | ≤38 | ≤31 | 14.0±1.0 | ≥9.0 |
| #1000 | ≤32 | ≤27 | 11.5±1.0 | ≥7.0 |
| #1200 | ≤27 | ≤23 | 9.5±0.8 | ≥5.5 |
| #1500 | ≤23 | ≤20 | 8.0±0.6 | ≥4.5 |
| #2000 | ≤19 | ≤17 | 6.7±0.6 | ≥4.0 |
| #2500 | ≤16 | ≤14 | 5.5±0.5 | ≥3.0 |
| #3000 | ≤13 | ≤11 | 4.0±0.5 | ≥2.0 |
| #4000 | ≤11 | ≤8.0 | 3.0±0.4 | ≥1.8 |
| #6000 | ≤8.0 | ≤5.0 | 2.0±0.4 | ≥0.8 |
| #8000 | ≤6.0 | ≤3.5 | 1.2±0.3 | ≥0.6 |
บทที่ 2 (มาตรฐาน FEPA)
| ขนาด | ดี3 (ม.) | D 50 (หนึ่ง) | ดี94 (ม.) |
| เอฟ230 | ＜82 | 53.0±3.0 | >34 |
| เอฟ240 | น้อยกว่า 70 | 44.5±2.0 | >28 |
| เอฟ280 | น้อยกว่า 59 | 36.5±1.5 | >22 |
| เอฟ320 | น้อยกว่า 49 | 29.2±1.5 | >16.5 |
| เอฟ360 | น้อยกว่า 40 | 22.8±1.5 | >12 |
| เอฟ400 | ＜32 | 17.3±1.0 | >8 |
| เอฟ500 | น้อยกว่า 25 | 12.8±1.0 | >5 |
| เอฟ600 | น้อยกว่า 19 ปี | 9.3±1.0 | >3 |
| เอฟ800 | น้อยกว่า 14 ปี | 6.5±1.0 | >2 |
| เอฟ1000 | น้อยกว่า 10 | 4.5±0.8 | >1 |
| เอฟ1200 | ＜7 | 3.0±0.5 | >1 (ที่ 80%) |
| เอฟ1500 | น้อยกว่า 5 | 2.0±0.4 | >0.8 (ที่ 80%) |
| เอฟ2000 | น้อยกว่า 3.5 | 1.2±0.3 | >0.5 (ที่ 80%) |
การใช้งานหลักๆ
– สารขัดแบบยึดติด และ สารขัดแบบเคลือบผิว
-การพ่นทราย, การปรับสภาพพื้นผิว, การกำจัดสนิม
– วัสดุขัดแบบเปียกและแห้ง, การเจียรและการขัดเงา ฯลฯ
-ลามิเนตพื้น/ผนัง ทนทานต่อการสึกหรอ
– ผลิตภัณฑ์เซรามิก: เซรามิกและกระเบื้อง, แผ่นกรองเซรามิก, เมมเบรนเซรามิก เป็นต้น
– การทาสีเทฟลอน เป็นต้น
– วัสดุฉนวนกันความร้อน
-ล้อเจียร, ล้อเจียรแบบถ้วย, หินลับมีด, แผ่นขัดเงา ฯลฯ
-ใช้สำหรับทำเบ้าหลอม ชิ้นส่วนสำหรับเตาเผา ซีลเชิงกล และวัสดุชิ้นส่วนในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์
